序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
1 | 化学机械抛光机 | 1套 | 1. 上电动驱动 a) 垂直定位加载电动驱动,最大垂直行程≥100mm,定位分辨率≤0.5um,速度范围满足:0.001-10mm/s b) 水平定位移动电动驱动,最大水平行程≥75mm,定位分辨率≤2um,速度范围满足:0.001-10mm/s c) 上旋转驱动,转速区间满足:1-500RPM,最大负载≥40kg,中程扭矩 | / |
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