中国电子科技集团公司第十三研究所原子导电力显微镜采购 - 国际招标澄清或变更公告(2)

澄清或变更简要说明：原招标文件中：（2）扫描器XY方向闭环噪声水平≤0.15nm（RMS），Z方向闭环噪声水平≤0.035nm（RMS）。（6）扫描电容显微镜可检测掺杂浓度范围1.0×1015-1.0×1020/cm3，空间分辨率≤10nm。现...